半導体デバイス研究室

担当教員:矢野満明 教授


居室:大宮学舎5号館2階
電話:06-6954-4313(直通)
FAX:06-6957-2136(電子情報通信工学科 事務室)
E-mail:yano@elc.oit.ac.jp


担当授業科目

 学部
 大学院

研究場所

 半導体デバイス研究室(大宮学舎5号館2階)
 ナノ材料マイクロデバイス研究センター(大宮東学舎総合セ ンター1階)

研究紹介

 半導体ヘテロ接合とそれを原子スケールで加工した量子構造を利用して,半導体薄膜電子材料としての新しい機能の発現を探索しています.具体的な研究対象は,PbTe系中赤外半導体レーザー,ZnO系紫外・可視半導体レーザー,ZnO系紫外線検出器,CdTe系放射線検出器,ZnO系透明トランジスター,ZnO系バイオセンサー等で,ナノ材料マイクロデバイス研究センターにて実施しています.
 研究のほとんどは「ナノ材料マイクロデバイス研究センター」に設置された半導体関連の大型実験装置を使用します.上に説明した研究テーマは電気電子システム工学科の研究室と協力して実施していますが,その他にも,機械工学科精密工作研究室・計測研究室と共同してマイクロマシンに関連する研究も行っています.なお,当研究室は文部科学省選定のハイテク・リサーチ・センター構成メンバーの一員として,「人に優しい機能集積ナノ材料の創製とマイクロデバイス応用」に関する半導体基盤材料の開発を積極的に推進しています.


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