現在の、人々の快適で豊かな暮らしを支える科学技術は半導体集積回路の発展によってもたらされたものです。私たちはその先端技術であるLSIの製造技術をテーマに研究しています。 本研究室では主にナノプローブや電子ビームを用いた材料の微細加工・分析・測定技術の開発、ならびにLSI製造プロセスの最適化を目指したシミュレーション開発研究に注力しています。
 また、当学科特別プロジェクトである自律走行電気自動車開発も行っています。

 本研究室では上記技術開発研究のために、ハードウェア製作と同時にそれをコンピュータで制御するソフトウェア開発も行うことで一貫したものづくり力を育成します。



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