研究概要

 近年、半導体技術の発展によって家電製品をはじめとする機器や装置のインテリジェント化が急速に進んでいます。半導体をさらに高機能なものとするためにはその内部にあるトランジスタをさらに小さくし、高密度に配置することが必要です。さらなる高密度パターンを作るために、世界各国の研究所から日々新しいナノテクノロジーの発表がなされています。

 本研究室では上述のLSI製造のナノテクノロジーについての基礎的研究をしています。以下に研究室で扱うテーマを示します。

  1. ナノプローブを用いた試料表面加工・分析技術の開発
                             (LSIナノテク研・ナノ材研における実験)
  2. 集束電子ビームを用いたナノメートル描画技術の開発
                             (ナノ材研・LSIナノテク研における実験)
  3. 電子ビーム照射効果の定量測定
                             (LSIナノテク研・ナノ材研における実験)
  4. 電子ビーム応用技術のシミュレーション開発
                             (LSIナノテク研におけるソフトウェア開発)

    そのほか、当学科の特別プロジェクト推進のため以下の卒業研究テーマを設けています。
  5. 自律走行電気自動車の製作
                             (LSIナノテク第2研究室における実験)

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