薄膜班


<研究内容>

・X線測定とホール測定の2チームに分かれて研究を行っている。
・プラズマを用いた青色発光電子集積回路実現のための窒化物材料プロセス技術の研究。(東工大・吉本研との共同)
・新光機能デバイス実現に向けた窒化物・酸化物セラミックス・半導体の融合プロセス化の研究。
・新材料窒化物・酸化物の電気的評価の研究。
・スパッタリング装置の作製と酸化インジウムスズ薄膜の作製。

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