高大連携講座「電子顕微鏡で見る半導体ナノエレクトロニクス」を実施しました
2013年7月27日
- 高等学校が夏休みに入った7月27日（土）の14：00～16：00、電子情報通信工学科の高大連携講座（全9回）の一環として「電子顕微鏡で見る半導体ナノエレクトロニクス（矢野教授と小寺教授が担当）」を実施しました。
今回の講座は、半導体ナノエレクトロニクスの研究現場を見学してもらうため、ハイテク研究機器が詰まった「ナノ材料マイクロデバイス研究センター」で行いました。
最初に見学講習室で、プロジェクターを使って「半導体エレクトロニクスの技術的な歴史と今後の展望」を簡単に説明し、ナノテクノロジーの代表である半導体デバイスのイメージを持ってもらいました。その後クリーンルームに入って、分子線エピタキシー装置をはじめ、新しい半導体材料の開発から微細加工を経てデバイス用に至る先端機器の見学を行いました。引き続き、「ナノ構造の観察法」という題で、電子顕微鏡や原子間力顕微鏡で表面形状がナノスケールで観察できる原理や装置自体の機能について説明を受けた後、走査電子顕微鏡を実際に使って半導体回路、蚊の目や足と翅、さらに蝶々の顔の表面構造等を観察しました。ナノテクの一つである蚊の足や翅の形状に基づく撥水の原理についても勉強しました。
この講座を受講したことが、科学技術の一端を知り今後の勉強の励みになることを期待しています。
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