去る2019年10月20日(日)～25日(金)に京都みやこめっせ (京都市左京区岡崎成勝寺町9-1)で開催された、日本学術振興会マイクロビームアナリシス第141委員会主催の国際会議ALC’19：第12回新材料とデバイスのための原子レベル特性解析国際シンポジウム　(12th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '19)にて、本学科の小寺教授の研究室に所属する大学院2年生の水野秀哉君が学生賞(Student Award)を受賞しました。世界の有名大学から参加した数10名の多数の学生発表者の中から選出された7名に入り、受賞研究の口頭発表とポスター発表を行いました。

発表題目は「Non-charging conditions of insulating film under electron beam irradiation」で、日本語訳は「電子ビーム照射を受けている絶縁薄膜が無帯電となる条件」です。「負電荷をもつ電子のビーム照射を受けている絶縁物が帯電しないこと」は、今まで報告されたことのない、電子ビームに携わる研究者も考えられなかった現象です。今回の知見を生かすことで、電子顕微鏡や電子ビーム微細加工のさらなる技術向上が期待されます。

今回の発表では、本学が独自に開発した非接触表面電位測定技術を使い、照射条件を工夫することによって、世界で初めて、照射部分だけでなく数ｍｍの広い範囲にわたっても帯電を起こさない条件を発見し、その状態が得られる理由を明らかにしました。この成果が高く評価され、表彰を受けることになりました。

賞状 ( pdf：355.45KB ）