工学部付設のナノ材料マイクロデバイス研究センターに設置されている結晶製造装置、光学測定装置、電気測定装置、微細加工装置、デバイス評価装置を用いて、スパッタ法，分子線エピタキシー法，溶液塗布熱分解法などの様々な方法で酸化物薄膜の結晶成長を行い、新規物性の探索と機能デバイスへの応用に向けて研究を行っています。企業への学術指導も行っています｡Researchmap: https://researchmap.jp/read0098382

キーワード：半導体、酸化物、薄膜成長技術、分子線エピタキシー、バイオセンサー、紫外線センサー、プロトンデバイス、赤外線スマートウィンドウ、半導体ガスセンサー、パワー半導体

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