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報道機関向け教員一覧

半導体プロセス

検索キーワード:「半導体プロセス」 2件見つかりました。

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工学部 電気電子システム工学科

小山 政俊 (コヤマ マサトシ)

准教授 博士(工学)

半導体工学、半導体プロセス工学、窒化物半導体デバイス(GaN-HEMT)、酸化物半導体、化合物半導体プロセス

化合物半導体、特に III-V 族半導体、酸化物半導体を用いた電子デバイスや光デバイスの研究を行っています。元々は企業で窒化物半導体高周波トランジスタのプロセスエンジニアでしたので、要素プロセス開発、プロセスインテグレーションも専門です。最近は新しい強誘電体薄膜の成膜も開始しました。

キーワード:半導体、半導体プロセス、窒化物半導体デバイス、酸化物半導体、テラヘルツ波、強誘電体、超高速デバイス、高電子移動度トランジスタ

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工学部 電子情報システム工学科

廣芝 伸哉 (ヒロシバ ノブヤ)

准教授 博士(工学)

有機半導体,酸化物半導体,デバイス物性,ナノテクノロジー

有機分子や酸化物・ナノ材料を用いた電子デバイスやセンサデバイスの研究を行っています。また,プラスチックの分析,ナノインプリントリソグラフィや原子層堆積法を用いたナノ構造作製も行っていましたので、半導体プロセスや、材料分析,ナノテクノロジーも専門です。最近はテラヘルツ分光法を用いた高分子関連材料の解析にも力を入れて研究しております。

キーワード:半導体デバイス、有機分子,酸化物,ナノ材料、センシングデバイス材料、環境センシング、テラヘルツ分光、ナノインプリントリソグラフィ

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