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大阪工業大学の最先端の研究を紹介大阪工業大学の最先端の研究を紹介

工学部

電子情報通信工学科 LSIナノテクノロジー研究室


独自の技術で世界初の電子顕微鏡内静電気力顕微鏡の開発に取り組んでいる学生達
現在の、人々の快適で豊かな暮らしを支える科学技術は半導体集積回路(IC)の発展によってもたらされたものです。私たちはICをさらに発展させた大規模集積回路(LSI)の製造技術(ナノテクノロジー)をテーマに研究しています。 本研究室では、主に電子ビームや先端をnmサイズに尖らせたSi製プローブを用いて材料の微細加工・分析・測定・評価技術の開発を行っているのと同時に、LSI製造プロセスの最適化を目指したシミュレーションの開発研究にも注力しています。
また、マイコンを用いた電気電子系ものづくりプロジェクトを指導し、学部1年~4年の学生が研究室に集まり協力して、映像・音響と同期したインタラクティブな噴水・イルミネーションの開発も行っています。


独自の技術で世界初の電子顕微鏡内静電気力顕微鏡の開発に取り組んでいる学生達

主な研究テーマ

  • 電子顕微鏡内の表面電位分布測定のための静電気力顕微鏡技術の開発
  • 電子ビーム応用技術の最適化のためのシミュレーション開発
  • 収束電子ビーム露光によるナノメートル描画技術の開発
  • マイコンを用いた電気電子系ものづくりプロジェクト

指導教員

小寺 正敏 教授 (コテラ マサトシ)

専門分野

  • 電子ビーム応用技術の開発
  • 静電気力顕微鏡法の開発
  • 走査電子顕微鏡システムの解析
  • 電子散乱のシミュレーションソフトウェアの開発
  • マイコンを用いたものづくり

教員メッセージ

当研究室で進めている電子ビームに関する研究は1897年に電子を発見したJ.J.Thomsonの研究に端を発するもので、今までこの分野から多くのノーベル賞学者が輩出されました。現在でも不明な現象は沢山残されていて、世界中で誰も見ることのできなかった現象を目の前で見たときには学生たちと共に万歳を繰り返すこともあります。当研究室では、電子ビーム照射で帯電した材料表面の電位分布を非接触で測定できるシステムを世界で始めて開発しました。大学院生がこの研究で今まで何度も国際学会から表彰を受けました。

在学生メッセージ

当研究室では毎年大学院1年生が、海外で開催される国際会議に出席し英語で研究発表を行っています。TOEICの成績が400点を超える程度であっても、技術的な内容を相手に伝えたいとの明確な意思を持って単語を並べることでコミュニケーションを取ることができました。この経験をもとに就職活動を有利に進めたいと思います。また、研究成果を上げることで修士課程在学中にいただいた奨学金の全額返還免除も可能性があり、私はそれを目指しています。

この研究がかなえる未来

電子ビーム応用技術の中でもっともよく知られている装置は電子顕微鏡です。最新鋭の電子顕微鏡では原子一つ一つの形状が観察できるようになりました。当研究室の研究成果により、従来の顕微鏡画像には偽の信号を作る電子が想像以上に広い範囲から数多く飛来して信号に混入していることが分かりました。この研究を進めることによって、今後は偽の信号を取り除いて、より高い分解能で原子像を鮮明に映すことができる電子顕微鏡が開発されることが期待できます。

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