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大阪工業大学の最先端の研究を紹介大阪工業大学の最先端の研究を紹介

工学部

電子情報システム工学科 半導体ナノシステム研究室


クリーンルームで半導体の微細加工を行う大学院生
新しい半導体材料の探索とそのデバイス応用、特にセンサへの応用を研究しています。現在取り扱っている主な材料は、酸化亜鉛や酸化タングステンといったワイドギャップ酸化物半導体です。デバイス化には高品質薄膜が必要となりますので、分子線エピタキシーやスパッタリングの他、大面積・低コスト成膜に適した溶液塗布法の開発も行っています。材料とデバイスの基礎研究を通じて、安全・安心・快適な社会環境を実現する半導体エレクトロニクスに貢献することを目指しています。


クリーンルームで半導体の微細加工を行う大学院生

主な研究テーマ

  • メディカル用途バイオセンサの開発
  • 酸化物半導体を用いた特定のガスを高感度で検出するガスセンサの開発
  • スパッタリング法による酸化ハフニウム系強誘電体薄膜の合成
  • 溶液塗布法による酸化物半導体・誘電体薄膜の合成
  • 分子線エピタキシャル法による化合物半導体超薄膜・超構造の作製

指導教員

矢野 満明 教授 (ヤノ ミツアキ)

専門分野

  • 半導体工学
  • 材料科学
  • 固体エレクトロニクス

教員メッセージ

当研究室は、超低消費電力ICの基礎となる超薄膜トランジスタや、人間を越えるインテリジェントな目・鼻となる高機能センサについて、材料開発からデバイス応用まで広範に研究しています。次世代社会を担うこれらの研究は、応用物理学と呼ばれる電子工学と物理・化学の融合領域に位置します。国内の他大学や公的研究機関は勿論、海外の大学とも積極的に共同研究を行っています。

この研究がかなえる未来

当研究室で取り扱う研究課題は、安心して快適な生活が送れる安全な社会の実現を目指したものです。例えば、メディカル用途のバイオセンサの研究は、最先端の半導体加工技術とバイオ技術を新しく開発した透明トランジスタと組み合わせて、ほんの1滴の血液で健康状態を総合的に診断できる血液分析チップを実現することが目的です。このような血液分析チップをスマホと組み合わせて測定結果を送信すれば、病院で採血して結果が分かるまで1週間かかっていた健康状態の診断が、自宅で簡単に測定してその場で分かるようになります。

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