電子情報システム工学科
ナノマテリアル研究室
酸化物半導体薄膜の作製と新機能デバイスへの応用
本研究室はクリーンルームを有するナノ材料マイクロデバイス研究センターを利用して、様々な方法（分子線エピタキシー法、スパッタ法、溶液塗布法）で酸化物半導体薄膜を作製し、新機能デバイスへ応用する研究を行っています。例えば、病気の早期発見に役立つウェアラブルなバイオセンサーや可視光や赤外光の透過率を調光するマートウィンドウの実現に向けて研究を行っています。
酸化物半導体薄膜の作製と新機能デバイスへの応用
主な研究テーマ
- 腎機能指標クレアチニンを対象とした酵素膜の作製とバイオセンサーへの応用
- 分子線エピタキシー法による単結晶酸化モリブデン薄膜の作製とエレクトロクロミック特性評価
- 溶液塗布熱分解法による酸化モリブデン薄膜の作製と高感度pHセンサーへの応用
- 溶液塗布熱分解法による酸化ガリウム薄膜の作製と深紫外線センサーへの応用
- 有機金属分解法による酸化バナジウム薄膜の作製と赤外線スマートウィンドウへの応用
指導教員
小池 一歩
教授
(コイケ カズト)
専門分野
- 半導体
- 酸化物
- 薄膜成長
- 半導体デバイス
- 材料物性評価
研究室がめざすSDGs
教員メッセージ
私たちの周りにはタブレットＰＣやスマートフォンなど様々な電子機器があり、それらが人々の日常生活を豊かにしています。全ての電子機器に半導体をベースとする電子回路が組み込まれており、新しい材料やデバイスの発見が新製品の誕生に繋がります。ナノマテリアル研究室では、次世代を見据えて、機能材料の創製から機能デバイスの試作まで一貫して行っています。
在学生メッセージ
ナノマテリアル研究室では世の中にない新材料を人工的に創製する技術を開発し新しい材料物性を探索しています。さらに、新材料を用いてIoT産業を支えるキーデバイスであるセンサーへ応用する研究を行っています。例えば、呼気や汗などに含まれる健康指標マーカーをその場で瞬時にセンシングするバイオセンサーや電源フリーで赤外光の透過率を遮断できるスマートウィンドウなど革新的デバイスの実現を目指しています。
この研究がかなえる未来
我々が開発しているバイオセンサーが実現すれば、いつでもどこでも手軽に自分の健康状態をチェックできるようになり、病気の早期発見や予防に役立てることができます。また、赤外線スマートウィンドウを車や家の窓へ実装できれば、地球の環境負荷低減に役立てることができます。
