半導体集積回路やパワー半導体は、長年シリコンを母材として発展してきましたが、近年はより高性能・高機能化のために新材料が導入されてきました。本研究室では、新しい材料・プロセスの観点から半導体工学に取り組み、よりよい社会を実現 する次世代デバイスの開発を行っています。具体的には、酸 化物材料を用いた半導体デバイスの高性能化や、パワー半導体として注目される窒化物半導体材料と酸化物材料のハイブ リッド構造を用いた新規デバイスの開発を行っています。
小山 政俊 准教授 (コヤマ マサトシ)
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