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ナノインプリントリソグラフィ
検索キーワード:「ナノインプリントリソグラフィ」 1件見つかりました。
工学部 電子情報システム工学科
廣芝 伸哉 (ヒロシバ ノブヤ)
准教授 博士(工学)
有機半導体,酸化物半導体,デバイス物性,ナノテクノロジー
有機分子や酸化物・ナノ材料を用いた電子デバイスやセンサデバイスの研究を行っています。また,プラスチックの分析,ナノインプリントリソグラフィや原子層堆積法を用いたナノ構造作製も行っていましたので、半導体プロセスや、材料分析,ナノテクノロジーも専門です。最近はテラヘルツ分光法を用いた高分子関連材料の解析にも力を入れて研究しております。
キーワード:半導体デバイス、有機分子,酸化物,ナノ材料、センシングデバイス材料、環境センシング、テラヘルツ分光、ナノインプリントリソグラフィ