化合物半導体、特に III-V 族半導体、酸化物半導体を用いた電子デバイスや光デバイスの研究を行っています。元々は企業で窒化物半導体高周波トランジスタのプロセスエンジニアでしたので、要素プロセス開発、プロセスインテグレーションも専門です。最近は新しい強誘電体薄膜の成膜も開始しました。

キーワード：半導体、半導体プロセス、窒化物半導体デバイス、酸化物半導体、テラヘルツ波、強誘電体、超高速デバイス、高電子移動度トランジスタ