化合物半導体、特に III-V 族半導体、酸化物半導体を用いた電子デバイスや光デバイスの研究を行っています。元々は企業で窒化物半導体高周波トランジスタのプロセスエンジニアでしたので、要素プロセス開発、プロセスインテグレーションも専門です。最近は新しい強誘電体薄膜の成膜も開始しました。

キーワード：半導体、半導体プロセス、窒化物半導体デバイス、酸化物半導体、テラヘルツ波、強誘電体、超高速デバイス、高電子移動度トランジスタ

工学部付設のナノ材料マイクロデバイス研究センターに設置されている結晶製造装置、光学測定装置、電気測定装置、微細加工装置、デバイス評価装置を用いて、スパッタ法，分子線エピタキシー法，溶液塗布熱分解法などの様々な方法で酸化物薄膜の結晶成長を行い、新規物性の探索と機能デバイスへの応用に向けて研究を行っています。企業への学術指導も行っています｡Researchmap: https://researchmap.jp/read0098382

キーワード：半導体、酸化物、薄膜成長技術、分子線エピタキシー、バイオセンサー、ガスセンサー、生体モニタリング、センシングデバイス、スマートウィンドウ、環境モニタリング

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時代を加速させる革新をめざして

有機分子や酸化物・ナノ材料を用いた電子デバイスやセンサデバイスの研究を行っています。また，プラスチックの分析，ナノインプリントリソグラフィや原子層堆積法を用いたナノ構造作製も行っていましたので、半導体プロセスや、材料分析，ナノテクノロジーも専門です。最近はテラヘルツ分光法を用いた高分子関連材料の解析にも力を入れて研究しております。

キーワード：半導体デバイス、有機分子，酸化物，ナノ材料、センシングデバイス材料、環境センシング、テラヘルツ分光、ナノインプリントリソグラフィ

半導体デバイスシミュレーションに関する研究を行っています。特にシリコン集積回路に用いられる極微細トランジスタを対象としたモンテカルロ法による電子伝導解析、熱伝導解析などを専門としています。

キーワード：デバイスシミュレーション、半導体デバイス、環境発電、IoT、TCAD